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气体质量流量传感器在一种电加热器智能控制系统的应用

      气体质量流量传感器在电加热器智能控制系统中的应用:电加热器智能控制系统,包括电加热装置、电源装置、测量装置和控制装置,电加热装置包括炉、一、二电加热器、一、第二电加热器设置在炉内,电源装置包括一、第二继电器、一、第二功率可控电源,测量装置包括气体流量传感器、一温度传感器和第二温度传感器,控制装置包括一个控制器,气体流量传感器设置在炉的入口处,一温度传感器设置在炉的出口处,第二温度传感器设置在炉的内壁上。电加热器智能控制系统可自动控制电加热器的工作过程,降低大功率电加热器的安全风险,提高温度控制精度。

气体质量流量传感器

      气体质量流量传感器的结构和制造方法简介:气体流量传感器属于MEMS制造技术领域,开放了气体质量流量传感器的结构及其制造方法,包括第三离子混合浓度的加热器电阻、一组第二离子混合浓度、下游半导体热电极、第二组一离子混合浓度、下游半导体热电极,其中第二离子混合浓度和第三离子混合浓度大于一离子混合浓度。本发明提供了气体流量传感器的结构及其制造方法,在传统设备结构中增加了一组上下游热电偶,在气流上下游形成两组不同的离子混合浓度,下游半导体热电极,通过电压差计算,基本抵消半导体材料塞贝克系数随温度变化的影响,使参考数据随温差线性变化,有利于提高气体温度和流量检测的灵敏度和准确性。


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