气体质量流量传感器广泛应用于中高档呼吸机。作为呼吸机气路系统的重要组成部分，它负责将吸入和呼出的气体流量转换成电信号，并将其发送给信号处理电路，以检测和显示吸入和呼出的水分、分钟通风和流量。流量传感器的性能直接影响呼吸机参数的准确性和可靠性。

在医疗卫生领域，使用传感器技术的仪器设备和检测手段很多。随着技术的发展，传感器将发挥更大、更有利的作用，从而为医疗器械的各种关键故障提供解决方案。气体质量流量传感器采用MEMS传感器芯片技术；具有精度高、响应速度快、重复性好等特点；极小的流量可以精确测量；完全校准和温度补偿；

此外，压力传感器、温湿度传感器和磁传感器也用于呼吸设备，以监测和控制气流、压力、温度和湿度等指标，同时支持和保证电机控制系统的稳定运行。