热气体质量流量传感器是气体质量流量控制器的重要核心组成部分，直接影响气体质量流量控制器的性能指标，如零漂移、精度线性重复、响应时间等重要指标参数，为了显著提高气体质量流量控制器的性能指标，先提高热气体质量流量传感器的性能。然而，热气体质量流量传感器的性能与其自身的结构参数设计密切相关。

       如果传感器的结构参数选择不当，将降低传感器的性能，甚至对气体质量流量控制器的质量产生致命影响。只有通过对热气体质量流量传感器的深入研究，才能合理地选择传感器的结构参数，使传感器的性能达到较佳状态。

      二工作原理

      本文研究的气体质量传感器是非接触式热量气体质量传感器。该传感器的基本原理是利用外部热源加热被测气体，测量气体流动引起的温度场变化，以反映质量流量。